斥資千萬的研發利器 高解析多功能掃描式探針顯微鏡

【研發處訊】由於奈米科技已成為廿一世紀發展的重心，本校為因應校內外研究人員的需求，今年斥資近千萬元購入中部地區第一架（也是目前唯一的）「高解析多功能掃描式探針顯微鏡」。這是一架高性能的大面積掃瞄式探針顯微鏡，可應用於材料表面結構或光電特性分析、薄膜材料表面與界面及形態結構之微區量測分析、奈米材料結構檢測、奈米級結構製作及生醫材料檢測分析等。該顯微鏡設置於本校共儀中心的無塵室，其橫向解析度可達?，垂直解析度可達0.1?，最大觀察面積可達675μm×675μm，也就是說可觀察試樣的解析度可達原子級，比奈米級更微小，可做為中部地區產官學界研究發展的超強利器。其功能包含：（1）樣品表面平整度分析，掃描的圖形可以2D平面圖型及 3D 立體圖型顯示，並可標示奈米級的差異顯示，可偵測奈米級薄膜的厚度或是薄膜表面型態的觀察。（2）側向摩擦力，可分析樣品的側向摩擦力的差異。（3）表面磁性變化及電場變化差異分析。（4）奈米級熱溫度分析。（5）奈米級力量操控及機械性質應用的功能，即可在試樣表面作奈米級的刻版或移動試驗。該儀器已涵蓋掃描探針顯微鏡的大部分功能，並加強了分析的速度，以減少操作時間。此外，為消除環境粉塵引起的不確定性，該顯微鏡將於class1000等 級的無塵空間進行試驗服務。就性能與環境而言，堪稱中部地區現有服務功能最優越的機台。目前該顯微鏡已裝機完成，在對外開放服務之前，為使各界有更進一步的認識，將於12月5日在第 三國際會議廳舉辦說明會。全程免費，歡迎各研究領域學術界、產業界及相關單位參加，即日起至12月2日止 受理報名，請洽共儀中心陳雅惠小姐（分機5324、6861），相關資訊詳見www.rdo.fcu.edu.tw/pisc。

高解析多功能掃描式探針顯微鏡。(照片/研發處提供)