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逢甲週報101-200期

本校教師群研發技術 分別榮獲中美兩國專利

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發刊日期:2004.10.22

【技術授權中心訊】由電子系劉堂傑主任、資電學院楊文祿副院長及材料系陳錦山教授、楊聰仁教授等共同研發之大型積體電路銅導線製程技術,分別提出「銅導線置換沈積之除氧方法」及「導線鑄模之置換沈積方法」之中華民國及美國專利申請。今已獲經濟部智慧財產局審查通過,並頒發專利證書(發明第189507號及發明第197866號)。最近更傳來好消息,「銅導線置換沈積之除氧方法」(申請號:10/716,550)一案,已獲美國專利商標局審查通過,現正辦理領證中,此項研發為本校所擁有的第二個美國專利。 銅導線製程技術為目前相關積體電路製程之重要技術之一,應用此技術,可以提高銅導線之品質,同時降低製程中所需之成本及簡化製程,對目前國內積體電路製造、面板產業等均有相當實質之助益。